全氟濾芯是電子級(jí)蝕刻液過濾和分離的關(guān)鍵

全氟濾芯是電子級(jí)蝕刻液過濾和分離的關(guān)鍵

超高純電子級(jí)磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業(yè)不可替代的微電子半導(dǎo)體芯片制造和關(guān)鍵電子化學(xué)品，例如晶圓減薄液、晶圓制絨液、多晶硅蝕刻液、電子級(jí)蝕刻液等關(guān)鍵技術(shù)目前已突破了美日韓等少數(shù)國(guó)家化工企業(yè)長(zhǎng)期壟斷和技術(shù)封鎖，為我國(guó)芯片制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展創(chuàng)造了良好條件。在過濾半導(dǎo)體制造用的刻蝕液、剝離液以及液晶電視用的液晶原料時(shí)，對(duì)濾芯的耐藥品性及溶出物的要求非常嚴(yán)格。聚丙烯等通用樹脂不可使用，只能使用耐藥性及耐溶出性優(yōu)良的氟樹脂。通過使用特殊的洗凈方法開發(fā)出的全氟濾芯，對(duì)過濾介質(zhì)要求嚴(yán)格的電子信息材料用藥液等過濾特別適用。由于經(jīng)過特殊洗凈，無化學(xué)污染。全氟折疊濾芯過濾原液殘留少，特別適合價(jià)格昂貴的蝕刻液體過濾。

制作IC時(shí)，可以簡(jiǎn)單分為4個(gè)步驟，金屬濺鍍、涂布光阻、蝕刻技術(shù)、光阻去除，其中過濾和分離是生產(chǎn)半導(dǎo)體，加工化學(xué)品和藥品的行業(yè)，或控制氣體或液體的系統(tǒng)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

其中全氟折疊濾芯是采用聚四氟乙烯拉伸膜、PFA骨架制造，具有高通量、高流速、長(zhǎng)壽命，以及極其優(yōu)良的化學(xué)相容性和耐氧化性能等特點(diǎn)。這種濾芯廣泛應(yīng)用于化學(xué)品過濾中各種酸、堿、有機(jī)溶劑等化學(xué)品的過濾，能夠滿足大多數(shù)惡劣環(huán)境下的過濾需求。例如，半導(dǎo)體制造工藝中的高溫、強(qiáng)腐蝕性的化學(xué)品過濾，化學(xué)品過濾中各種酸、堿、有機(jī)溶劑等化學(xué)品的過濾，蝕刻、清洗、光刻膠、顯影液等以及其他的強(qiáng)氧化性液體的過濾關(guān)鍵材料。